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主營產品：實驗室檢測設備，離心機，食品安全檢測設備，水質分析，紫外可見分光光度計，液氮罐，萬分之一天平，離心機生物實驗室工程，移液器

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等離子灰化機

等離子灰化機

更新時間：2024-06-09

訪問量：1258

廠商性質：代理商

生產地址：

簡要描述：
PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經典桶型。 

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓，玻璃基板對應 

特征 

● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔

● 小型一體化設計

● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型） 

規格 

型號

PR500

PR510

模式

DP模式，桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動協調

反應部

反應腔

石英 Φ215×305mm

反應氣體

2系統（O2／CF4）

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規格書

重量

約60kg

參照規格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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